61. Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation

Vorstellung IMS
Martin Zimmermann, IMS Chips, Stuttgart

Vorstellung Bereich Ionenimplantation
Shen Sun, IMS Chips, Stuttgart

Large Area Silicon-Energy Filters for Ion Implantation
Tamas Steinbach, IMS Chips, Stuttgart

FLEXion^® Beamline Ion Implanter Standard & SiC
Jeremy Flamanc, IBS, Peynier / Frankreich

As Implanted Ion Implants Monitoring: Dependence of PMR Signal on Amorphization Threshold and Channeling
Michael Schweiger, Semilab, Braunschweig

NEMEZU - Neue edelmetallfreie Membran-Elektroden-Einheiten für Brennstoffzellen der Zukunft
Shen Sun, IMS Chips, Stuttgart

Allgemeine Diskussion über die Kontrolle der Plasma Flood Gun
Alexander Scheit, IHP, Frankfurt (Oder)