51. Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation

Begrüßung
Heiner Ryssel, Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen

Vacuum Solutions for Ion Implant
Oliver Mayfarth, Pfeiffer Vacuum, Assla

The new Generation of Turbo to Handle by - Products on High Current Implanters
Neil Briault, Edwards, Crawley/Großbritannien

Paperless-Online-Partikel-Kontrollen an Ionenimplantern X-FAB Dresden
Andreas Rödel, X-FAB Dresden

Optimierung der Ätzrate von SiO₂ durch Argon-Implantation
Alexander Scheit, IHP, Frankfurt (Oder)

Ga-reiche Schichten in Si – vom Supraleiter zum Isolator
Jan Fiedler, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Ionenimplantation in Kondensatorfilme
Volker Häublein, Fraunhofer IISB, Erlangen

Matching Vista HCP zu GSD
Neil Fox, Robert Bosch, Reutlingen

Y-tilt Winkelkontrolle an der VIISta810
Klaus Kerkel, Infineon Technologies, Regensburg