Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISB7. November 2013
IHP GmbH, Frankfurt (Oder)
50. Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation
Tagesordnung
Begrüßung
Heiner Ryssel, Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen
Kurzvorstellung IHP GmbH
Wolfgang Mehr, IHP, Frankfurt (Oder)
35 Years Ion Implantation - The History of Axcelis Technologies -
Ron Reece, Axcelis Technologies, Beverly, USA
Zur Historie des Einsatzes der Ionenimplantation im Zentrum Mikroelektronik Dresden
Dietbert Gerisch, ehemals ZMD, Dresden & Karl-Heinz Stegemann, SolarWorld Innovations, Freiberg
Ionenimplantationsanlagen in der DDR-Industrie
Detlef Bolze, ehemals IHP, Frankfurt (Oder)
Deutsche Nutzergruppe Ionenimplantation
Heiner Ryssel, Fraunhofer IISB, Erlangen
Nächstes Treffen:
Donnerstag, 3. April 2014
Fraunhofer IISB, Erlangen