48. Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation

Begrüßung
Heiner Ryssel, Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen

Kurzvorstellung PLANSEE
Peter Aldrian, PLANSEE SE, Reutte/Österreich

Plansee Advanced Standard: "Beamline solutions beyond replacement spare parts"
Thomas Werninghaus, PLANSEE SE, Reutte/Österreich

Zusammenfassender Vortrag IIT 2012
Alexander Scheit, IHP GmbH, Frankfurt (Oder)

Radiation Protection for High Energy Implantation of Light Ions in a Production Environment
Dieter Fuchs, Infineon Technologies AG, Regensburg

Ion Implantation Challenges for Power Devices
Werner Schustereder, Infineon, Villach/Österreich

Externe Sensoren für Axcelis GSD Hochströmer
Klaus Kerkel, Infineon Technologies AG, Regensburg

PLANSEE Werksführung