44. Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation

Begrüßung
Heiner Ryssel, Fraunhofer IISB, Erlangen

Bosch Halbleiterwerk in Reutlingen
Thorsten Widmer, Robert Bosch GmbH, Reutlingen

Summary of the IIT 2010
Matthias Schmeide, Infineon Technologies GmbH, Dresden

Zukunft der IIT
Heiner Ryssel, Fraunhofer IISB, Erlangen

Very low Energy Devices: TUNNEL FETs
Siegfried Mantl, Forschungszentrum Jülich

Ionenimplantation bei Bosch Reutlingen
Neil Fox, Robert Bosch GmbH, Reutlingen

Fabbesichtigung

Diskussion im Forum