45. Treffen der Nutzergruppe Heißprozesse und RTP

IMS Chips, Stuttgart

Vorstellung IMS
Martin Zimmermann, IMS Chips, Stuttgart

Vorstellung Bereich Heißprozesse
Shen Sun, IMS Chips, Stuttgart

Compact Thermal Reactors - Flexibility for R&D in Academia
Colin Wilson, Expertech Inc, Scotts Valley / Vereinigte Staaten von Amerika

RTP in MEMS Manufacturing
Jürgen Nieß, HQ-Dielectrics GmbH, Dornstadt

Alloy Stability of GeSn and SiGeSn with Sn Contents up 15 % Utilizing MBE
Daniel Schwarz, Institut für Halbleitertechnik, Universität Stuttgart

Applications of Defect Photoluminescence Imaging (DPLI) to Monitoring Crystallographic Defects during IC Processing
Gyorgy Nadudvari, Semilab ZRT, Budapest / Ungarn

The Helmholtz Innovation Lab for Ultrashort Time Annealing
Lars Rebohle, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

voraussichtlich Frühjahr 2021

Fraunhofer IISB, Erlangen

Die Treffen im Jahr 2020 mussten aufgrund der Corona-Pandemie abgesagt werden.