37. Treffen der Nutzergruppe Heißprozesse und RTP

Begrüßung
Anton Bauer, Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen
Wilfried Lerch, centrotherm photovoltaics AG, Blaubeuren

Blitzlampentemperung zur Behandlung von Schichten in in-line oder Rolle-zu-Rolle Anwendungen
Thoralf Gebel, DTF Technology GmbH, Dresden

Untersuchungen zur Waferauflage für Blitzlampen-Ausheilung
Thomas Lenke, IHP, Frankfurt (Oder)

Grundlagen und neue Anwendungen der Variablen Frequenz Mikrowelle
Gerald Wiltsche, Euris GmbH, München

FAST Volumetric Heating - Technology Beyond the Reach of IR
Gerald Wiltsche, Euris GmbH, München

Anwendung von Techniken der Virtuellen Metrologie für die gemeinsame Auswertung von Einzelexperimenten und statistischen Versuchsplänen
Georg Roeder, Fraunhofer IISB, Erlangen

Plasma Oxidation on SiC
Hans-Joachim Meyer, HQ-Dielectrics, Dornstadt

SiC n-Kanal-MOSFETs
Viktoryia Uhnevionak, Fraunhofer IISB, Erlangen

Zuverlässigkeit monolithisch integrierter RC-Snubber in MOS-basierten Leistungsmodulen
Tobias Erlbacher, Fraunhofer IISB, Erlangen

Nanotechnologie für die Korrosionsunterdrückung an Metall-Legierungen
Wolfgang Skorupa, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf