Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISBJune 22, 1999
Fraunhofer IISB, Erlangen
Workshop "Plasmaätzen"
Plasmaätzen
MORI Ätzverfahren
Dr. Dave Thomas, TRIKON Technologies Ltd.
Kontaktloch / Viaätzen
Joachim Dannenberg / Hansjörg Kranz, LAM / Applied Materials GmbH
Damascene Ätzprozesse
Dr. Rene Tews, Stefan Wege, Infineon Technologies AG