Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISBJune 09, 1999
Fraunhofer IISB, Erlangen
Workshop "PVD"
PVD
CVD / PVD im Clustertool
Jörg Syre, Fraunhofer ISIT
Force Fill
Jürgen Förster, Infineon Technologies AG
W-CVD
Wolfram Karcher, Infineon Technologies AG
Standardisierung von Messungen
Wolfgang Lehnert, Fraunhofer IISB
In situ Messungen
Wolfgang Lehnert, Fraunhofer IISB