Dr. Alexander Tobisch erhält für seine Promotion am Fraunhofer IISB in Erlangen den Wissenschaftspreis der Stiftung Industrieforschung 2018 / 2018
Die Messung des Unsichtbaren – Innovatives Messverfahren für Unebenheiten auf Halbleiterscheiben
Der diesjährige Wissenschaftspreis der Stiftung Industrieforschung geht an Dr.-Ing. Alexander Tobisch für seine Dissertation „Telezentrische Deflektometrie zur Nanotopographiemessung von Halbleiterscheiben“. Dr. Tobisch hat am Fraunhofer IISB in Erlangen ein innovatives optisches Messverfahren entwickelt, das kleinste Unebenheiten auf spiegelnden Oberflächen erkennt. Die Technologie ermöglicht eine einfache und umfassende Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie und kann helfen, die Ausbeute bei der Herstellung von Mikrochips zu erhöhen.
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