Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISBWir unterstützen die Entwicklung von Hochtemperaturanlagen und -prozessen durch unsere Expertise in der numerischen Modellierung von Wärme- und Stofftransportphänomenen. Spezielles Know-how besteht bei Kristallzüchtungs- und Epitaxieprozessen, aber auch bei anderen thermischen Verfahren wie z.B. Wafertempern. Wir erarbeiten Lösungen für Ofenmodifikationen, um die Anlagen auf die jeweilige Anwendung zu optimieren und geben neue Einblicke in die Prozesse, insbesondere für Parameter, die über Messtechniken wie Speziesverteilungen oder Strömungsmuster kaum zugänglich sind.
Anlagensimulation
Globale Simulation einer Cz Kristallziehanlage
3D elektromagnetische Simulation der Heizeranordnung einer DS Ofenanlage
3D CFD Modell des SiC CVD Epi Prozesses
Leistungen
- Thermische Simulationen (Leitung, Konvektion, Strahlung)
- Strömungssimulationen (Gas, Schmelze, Turbulenz einschließlich Magnetohydrodynamik)
- Stresssimulationen
- Elektromagnetische Feldsimulationen
- Simulation des Speziestransports einschließlich chemischer Reaktionen
- Softwaretools: CrysMAS, OpenFOAM, Ansys
- Prozesse: Cz, VGF, DS, FZ, EFG, LPE, THM, CVD, PVT, HVPE, Tempern
- Materialien: Si, Ge, GaAs, InP, GaN, AlN, SiC, CdZnTe, Halogenide, Oxide
