2002

In der Photolithographie werden mit immer härterer UV-Strahlung noch kleinere mikroelektronische Bauelementstrukturen belichtet. Selbst Quarzglas kommt dabei für optische Bauteile bald nicht mehr in Frage. Anstatt Glaslinsen werden für diese Anwendung in einem Projekt mit Schott Lithotec große und makellose Einkristalle aus Calciumfluorid gezüchtet.

Vom 15. bis 17. April traf sich die internationale Elite der Halbleiterhersteller am Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie (IISB), um die Technologie der nächsten 15 Jahre zu planen. In den “Roadmaps” werden bereits die Herstellschritte für die noch schwer vorstellbaren nächsten Strukturgrößen von unter 10 Nanometer auf 450 mm großen Siliciumscheiben beschrieben.

Morgen beginnt in Dresden mit der „3rd European AEC/ APC-Conference“ eine der wichtigsten Konferenzen der Halbleiterindustrie in Europa. Auf Ihr wollen mehr als 250 Teilnehmer aus 19 Ländern gemeinsam technische Ansätze in der Halbleiterbranche entwickeln und systematisieren. Im Mittelpunkt der Konferenz, die bis zum 12. April im Dresdner Hilton Hotel stattfindet, stehen unter anderem Fragen der Automatisierung, des technischen Controlling und des besseren Einsatzes der Produktionsausrüstung. „AEC/APC” steht für Advanced Equipment Control/Advanced Process Control. Vorbild für diese Konferenz ist das von der führenden Industrievereinigung International SEMATECH in den USA jährlich durchgeführte AEC/ APC-Symposium.

Zum dritten Mal in Folge findet vom 10. bis 12. April die diesjährige „3rd European Advanced Equipment Control / Advanced Process Control (AEC/APC) Conference“ in Dresden statt - der geeignete Rahmen für die öffentliche Premiere des EuSIC Netzwerkes für die europäische Halbleiterindustrie