Workshop der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren"

Einladung
 

Im Namen der GMM-VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik laden wir Sie recht herzlich zu unserem 26. Workshop der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren" ein.
ics-Datei mit Termin

Die Schwerpunktthemen des Workshops sind:

• Neue Einzelprozesse für Abscheide- und Ätzverfahren
• Schnittstellen zwischen Front-End- und Back-End-of-Line zu AVT

Ziel des jährlich stattfindenden Workshops ist es, ein offenes Forum für Diskussionen zu den Prozessbereichen Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), Plasmaunterstützte Chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Elektrochemische Abscheidung (ECD), allgemein zu Abscheideverfahren und Plasmaätzen zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen, Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen zu ermöglichen. Hierzu werden im Rahmen des Workshops Vorträge zu aktuellen Themen aus den von der Nutzergruppe betreuten Prozessbereichen gehalten.

Eine Übersicht der Veranstaltungen und Treffen der Nutzergruppe finden Sie hier.

Weitere Interessierte für die Mitarbeit in der Nutzergruppe sind herzlich willkommen.