Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISBIn den vergangenen Jahren sind die Anforderungen an die Variabilität und an die Funktionalität von Halbleitergrundmaterialien für Anwendungen in der Leistungs- und Kommunikationselektronik enorm gewachsen. In diesem Bereich spielen vor allem Verbindungshalbleiter eine große Rolle. Diese Werkstoffe weisen physikalische Eigenschaften für solche Anwendungen auf, die denen des etablierten Siliziums überlegen sind. Darüber hinaus sind Defekte in diesen Materialien Kandidaten für die Realisierung isolierter Quantenzustände für künftige hochempfindliche Quantensensoren oder ultraleistungsfähige Quantencomputer.
Wir haben fundierte Expertise in der Charakterisierung der optischen, strukturellen, physikalischen und chemischen Eigenschaften von unterschiedlichen Kristall- und Wafer-Materialien. Dies ermöglicht uns, Servicemessungen innerhalb einer kurzen Rücklaufzeit für unsere Kunden durchzuführen. Gegenstand unserer Forschung ist die operando Charakterisierung, das bezeichnet die Untersuchung von (Test-)Bauelementen im Betrieb. Derartige Messungen ermöglichen, die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit von Bauelementen zu testen. Bei einer umfassenden Defektanalyse in einem frühen Stadium der Materialentwicklung können so für die Zuverlässigkeit der Bauelemente kritische Defekte identifiziert werden. Gemeinsam mit unseren Kunden finden wir Lösungen, um diese kritischen Defekte zu vermeiden.
