Wie lassen sich die extremen wirtschaftlichen Anforderungen in der Halbleiterindustrie mit größtmöglicher Flexibilität bei Wafergrößen, Halbleitermaterialien und Fertigungsprozessen verbinden?

Im Zuge des Projekts „Integrated Development 4.0“ (iDev40) wurden am Fraunhofer IISB flexible Bausteine für eine intelligente Plattform für Rapid Prototyping entwickelt. Damit bauen wir unsere industriekompatible Prototypen- und Kleinserienfertigung für kundenspezifische elektronische Bauelemente zu einer Industrie-4.0-Prozessumgebung aus. Zum Nutzen unserer Partner und Kunden überführen wir die neuesten wissenschaftlichen Erkenntnisse in die Praxis.

Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler der Gruppe Data Analytics und der Hauptabteilung Halbleitertechnologie haben drei sich ergänzende Lösungsansätze für das Rapid Prototyping von maßgeschneiderten elektronischen Bauelementen entwickelt und beispielhaft implementiert: stabile Basis-Fertigungsmodule, intelligente Experimente entsprechender Datenanalytik und intelligente Logistik auf der Basis eines flexiblen MES. Ein zentrales Element ist die Evaluierung der vom Fraunhofer IISB betriebenen durchgängigen Si-CMOS- und SiC- Prozesslinie (π-Fab®) durch Lernen aus vorhandenen Fertigungsdaten und Umsetzung von Optimierungsmaßnahmen. Die gewonnenen Erkenntnisse lassen sich auf industrielle Fertigungsumgebungen übertragen.

Zwischen 2018 und 2021 wurden im Rahmen des Projekts „Integrated Development 4.0“ (iDev40) erfolgreich Digitalisierungsmaßnahmen erarbeitet, die die Bereiche Entwicklung, Produktion und Logistik der europäischen Halbleiterindustrie zur Industrie 4.0 transformieren. Durch die ganzheitliche Datenvalidierung und -verwertung werden intelligente und flexible Entwicklungs- und Produktionsprozesse ermöglicht.
Neben dem Fraunhofer IISB gehören dem iDev40-Projekt-Konsortium mehr als dreißig weitere Domänen-Marktführer, KMU, Forschungsinstitute und Universitäten aus dem deutschsprachigen und europäischen Raum an. Die Projektkoordination liegt bei Infineon Austria.

Das EU-Projekt iDev40 wurde vom ECSEL Joint Undertaking (JU) unter der Finanzhilfevereinbarung Nr. 783163 gefördert. JU wird unterstützt durch das Forschungs- und Innovationsprogramm Horizon 2020 der Europäischen Union. Es wird von den Mitgliedern des Konsortiums kofinanziert und erhält Fördermittel aus Österreich, Deutschland (BMBF), Belgien, Italien, Spanien und Rumänien.

Ausführliche Projektergebnisse des Fraunhofer IISB (Paper):

Smart Platform for Rapid Prototyping: Solutions in the Dilemma of Flexibility and Standardization

Link zur Projekt-Homepage:

iDev40