Neues Epitaxiesystem für 200-mm-SiC-Wafer

Kurzmeldung /

Als einzige Forschungseinrichtung weltweit betreibt das Fraunhofer IISB jetzt einen 200-mm-fähigen AIXTRON-Planetenreaktor für SiC-Epitaxie.

© Copyright: Kurt Fuchs / Fraunhofer IISB
Weltweit einmalig für eine Forschungseinrichtung: Der neue AIXTRON-Planetenreaktor im Reinraum des Fraunhofer IISB für die Herstellung von Epitaxieschichten auf 150- und 200-mm-Substraten, insbesondere Siliziumkarbid. Copyright: Kurt Fuchs / Fraunhofer IISB

Diese State-of-the-Art-Epitaxietechnologie wird hauptsächlich für die Prozessierung von Bauelementprototypen auf Siliziumkarbid-Basis eingesetzt.  
 
Das IISB betreibt eine durchgehende und industriekompatible 200-mm-CMOS-Linie, die im Rahmen der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) schrittweise für Siliziumkarbid qualifiziert wird.
 
Mit der technologischen Ausstattung kann das Fraunhofer IISB seinen Forschungspartnern, der Industrie und explizit auch KMUs eine einzigartige industrieoffene Forschungs- und Entwicklungsplattform im Bereich der SiC-Leistungselektronik und der Quantentechnologie anbieten.

Weitere Informationen zu SiC: 
https://www.iisb.fraunhofer.de/de/research_areas/materialien/siliziumkarbid.html  

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